Mantenere una sala pulita di classe 100 veramente pulita
Quando si lavora in un ambiente di classe 100, l’“efficienza” diventa secondaria. L’unica cosa che conta davvero è il controllo delle particelle presenti nell’ambiente.
Il problema è che la maggior parte delle lampade a raggi infrarossi standard produce dei piccoli frammenti di materiale che si staccano dalle loro parti esterne. Questi frammenti sono invisibili, ma ci sono comunque. Per risolvere questo problema, utilizziamo tubi di quarzo ad alta purezza, abbinati a terminali in ceramica specializzati.
Perché i materiali sono importanti
La maggior parte degli emettitori a raggi infrarossi utilizza adesivi o plastiche di scarsa qualità per fissare le due estremità del tubo. In ambienti ad alta temperatura o sotto vuoto, questi materiali si deteriorano facilmente. Ecco perché si può verificare contaminazione sui wafer.
Noi abbiamo optato per tubi di quarzo sintetico ad alta purezza: non si deteriorano sotto stress termici e resistono anche all’erosione chimica.
Ma il vero segreto sta nei terminali in ceramica: utilizziamo ceramiche ad alta concentrazione di allumina, senza alcun legante metallico. In questo modo si elimina quel fastidioso effetto di “polverizzazione” che si verifica con le lampade meno costose, e si evita che escano sostanze organiche volatili quando si aumenta la temperatura.
Alcuni punti da considerare
Questi emettitori generano un flusso di calore molto intenso. Pertanto, i supporti su cui vengono montati devono essere perfettamente precisi. Se il tubo si sposta anche di pochi millimetri, si creerà un punto caldo sulla superficie del pezzo da lavorare. È necessario mantenere una tolleranza molto stretta.
Un altro consiglio riguarda l’alimentazione elettrica: il quarzo ad alta purezza si espande in modo specifico. Se si accende troppo rapidamente, si potrebbe danneggiare il legame tra la ceramica e il quarzo. È quindi importante procedere lentamente durante l’accensione. I vostri sistemi di sigillaggio ve ne saranno grati.
Come farli funzionare
Abbiamo progettato questi emettitori in modo che possano essere sostituiti direttamente sugli impianti esistenti. Basta collegarli ai controller già presenti, e il gioco è fatto.
Poiché abbiamo eliminato tutti i fattori che causano contaminazione, noterete una notevole riduzione delle particelle durante le ispezioni della superficie. Ciò significa meno tempo dedicato alla pulizia e più tempo per produrre. Assicuratevi soltanto che i ventilatori di raffreddamento siano abbastanza potenti per gestire il calore prodotto dai terminali in ceramica.