
Mantenere una sala pulita di classe 100 davvero pulita
Se si riscalda un pezzo di materiale all’interno di una camera a vuoto o in una sala pulita di classe 100, si conosce bene il problema: basta una piccolissima particella di polvere o un gas chimico per rovinare l’intero lotto di wafer o di rivestimenti ottici.
La maggior parte degli elementi riscaldanti standard non è adatta a questo scopo: essi perdono i loro materiali leganti o si ossidano, il che equivale a versare dei glitter in una sala operatoria. Per risolvere questo problema, utilizziamo lampade a infrarossi fatte di quarzo sintetico ad alta purezza.
La lotta contro l’emissione di gas
I materiali che utilizziamo sono di silice fusa, priva di impurità metalliche. Perché? Perché quando la lampada raggiunge la temperatura di funzionamento, non vogliamo che emetta composti organici volatili. Il vetro standard si ammorbidirebbe o si romperebbe sotto tale pressione. Il nostro quarzo, invece, rimane rigido e trasparente, anche quando le temperature diventano estremamente alte. Inoltre, non utilizziamo collanti economici: tutti i connettori vengono sigillati meccanicamente. Niente adesivi, niente emissioni di gas, niente parti danneggiate.
Gestire l’ambiente a vuoto
Gli ambienti a vuoto presentano delle difficoltà, poiché non c’è aria che possa trasportare il calore via. Senza un’efficace dissipazione del calore, la lampada può surriscaldarsi e distruggersi. Per evitare ciò, queste lampade sono progettate per produrre radiazioni a corta lunghezza d’onda ad alta intensità. L’obiettivo è far sì che l’energia venga direttamente applicata al materiale da riscaldare, senza surriscaldare le pareti della camera.
Un consiglio utile: assicuratevi che i supporti di montaggio siano fatti da leghe a bassa espansione termica. Se questi si espandono troppo durante i cicli termici, potrebbero rompere il tubo della lampada. È un dettaglio importante per evitare problemi.
Installazione e funzionamento
Le lampade vengono spedite insieme a accessori compatibili con l’ambiente a vuoto, per semplificare l’installazione. Quando le collegate, fate attenzione alla tensione applicata ai terminali: è necessario un sigillo ermetico, ma se esagerate, potreste danneggiare il quarzo. Se utilizzate correnti elevate, verificate che il sistema di raffreddamento sia in grado di dissipare il calore dalle estremità della lampada.
Queste lampade possono sostituire facilmente quelle attualmente in uso. Un ultimo consiglio: tenete d’occhio la capacità della pompa a vuoto durante il primo avvio della lampada. La fase iniziale di riscaldamento può essere impegnativa, quindi assicuratevi che il vostro sistema sia in grado di gestirla.