
なぜIRが、より迅速なバイオセンサー製造の鍵となるのか? バイオセンサーの半導体製造においては、時間こそが最大の敵です。それは単なるスプレッドシート上の数字ではなく、利益を食い尽くす要因なのです。 多くの工場では依然として古い方式の空気循環方式を使っています。私もよく見かけます。しかし問題は、空気は熱を移動させるのが下手だという点です。結果として、サイクルタイムの半分を、空気が流れて基材が十分に温まるのを待つだけで過ごすことになります。これは本当にイライラします。 その解決策が赤外線(IR)です。 こんな風に考えてみてください。強制送風方式では、金属を温めるために部屋全体を温めなければなりません。一方、IRは違います。電磁波を利用するので、光子が表面に当たると瞬時に熱に変わります。 その結果、準備時間が数分から数秒に短縮されます。巨大なチャンバーを温めるためのエネルギーを無駄にすることはありません。熱を必要な場所に直接送り込むのです。その結果、ウェーハ1枚あたりのコストが大幅に下がります。 ただし、これは「プラグアンドプレイ」のような簡単なものではありません。正しく設定する必要があります。 熱が非常に集中するため、誤差の余地はほとんどありません。ランプの位置が数ミリメートルずれたり、電力制御装置に問題があれば、熱の集中点が生じます。薄膜型バイオセンサーの世界では、熱の集中点は大きな問題です。それによってフィルムが変形したり、繊細な有機層が破壊される可能性があります。 また、装置自体のことも考えなければなりません。基材はすぐに熱くなりますが、ランプのケースは大きな負担を受けます。しっかりしたヒートシンクや強制送風装置が必要です。さもなければ、装置の性能が低下してしまいます。 それでも、全体的に見ると、IRこそが業界が進んでいる方向です。より小さなスペースで、より多くの製品を生産できます。 もし今も空気循環式のオーブンを使っているなら、実際には利益を捨てていることになります。IRアレイに交換し、PID制御装置を調整すれば、サイクルタイムが大幅に短縮されます。