ウェーハの汚染を未然に防ぐ：IRランプをより適切に扱う方法
半導体製造工場では、ランプが故障することは大問題です。単に停止時間が発生するだけでなく、ガラスの破片や化学物質がウェーハに付着してしまいます。一度でも破裂してしまうと、そのロット全体が使い物にならなくなってしまいます。
私たちは、このような事態を防ぐ方法を長年研究してきました。
汚れを内部に閉じ込める
まず、高純度の合成石英を使用します。これにより、急激な加熱・冷却の刺激に耐えても割れることがありません。しかし、それだけでは不十分です。そこで、ランプの周囲に保護用のカバーを設置しました。これはまるで安全網のようなものです。フィラメントが切れたり、チューブが壊れたりしても、破片はカバーの中に留まります。そうすれば、シリコンウェーハに破片が付着することはありません。
熱対策
ランプを限界まで動作させると、問題が起こりやすくなります。私たちは、壁の厚さや内部のガスの量を慎重に調整し、高温になってもランプが壊れないようにしています。石英が物理的に耐えられる以上の出力を得ようとするのは避けます。
ちょっとしたコツ：冷却装置を確認してください。空気の流れが悪いと、特定の場所で過熱が起こります。それがほとんどの場合、亀裂が発生する原因です。
面倒でありながら重要な点
私たちは標準化されたコネクタを使用しています。緩んだ接続は災害の原因になります。緩んだ接続によってアークが発生し、シール部分で急激な熱上昇が起こります。また、しっかりと固定することで、振動時にチューブが揺れるのを防ぎ、機械的なストレスによる亀裂を防げます。
交換時も、簡単に行えます。特に面倒なことはありません。
お願いですが、500時間ごとにシールの状態を確認してください。そうすれば、微細な亀裂が生じてから、実際に破裂してしまう前に対処できます。また、電圧も注意してください。規定値を守ることで、ランプが早期に壊れるのを防げます。