熱対策：なぜFABラムプには石英製のシールドが必要なのか スマートなFAB環境を構築している方なら、IR光源を適切に制御することが重要であることをご存知でしょう。高密度のランプが他の生産ラインに悪影響を与えないように、私たちは石英ガラス製のシールドを使用します。 これは単なるカバーではありません。...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100のクリーンルームで作業を行う際、加熱というのは温度そのものではありません。重要なのは、目に見えない微細な粒子です。 このような環境では、ほとんどの加熱要素が問題を引き起こします。これらの加熱要素からは、目に見えない微小な粒子が...

クラス100の清潔室での使用において、汚染の心配をする必要はありません。クラス100の清潔室を運用しているときに最も避けたいのは、加熱要素が粒子や化学物質を放出してしまうことです。実際、これは思っているよりも頻繁に起こります。一般的な抵抗式ヒーターは、加熱や冷却の際に微細な破片を飛ばしてしまいます...

なぜ、クリーンルーム内のすべての電球をテストするのか？ 半導体製造工場では、わずかな電気的な障害でも大災害につながります。たった一回の放電で、大量のウェハが廃棄されてしまうこともあります。だからこそ、私たちは「抽出検査」を行いません。数個だけテストして、運が良ければ大丈夫というわけにはいきません。...

ウェーハの汚染を未然に防ぐ：IRランプをより適切に扱う方法 半導体製造工場では、ランプが故障することは大問題です。単に停止時間が発生するだけでなく、ガラスの破片や化学物質がウェーハに付着してしまいます。一度でも破裂してしまうと、そのロット全体が使い物にならなくなってしまいます。 私たちは、このよう...

危険な環境における加熱の現実 現実を見ましょう。私たちがこのカーボンファイバー製の赤外線ランプを作ったのは、化学洗剤が空気中に漂い、可燃性の蒸気が常に存在するような場所のためです。 そうした場所では、通常のヒーターでは全く役に立ちません。本当の課題は、単に熱を生み出すだけではありません。重要なのは...

はじめに 想像してみてください。すべてがデータと精密さによって制御されるスマートファクトリーを構築しようとしているとします。そんな場所では、不安定で遅い加熱源など、絶対に許されません。 だからこそ、私たちは高出力のハロゲン素子を利用した赤外線乾燥システムを開発しました。これらの素子は、瞬時に集中し...

はじめに さっそく本題に入りましょう。私たちは、妥協を許さないエンジニアのために工業用ヒーターを製造しています。つまり、高い性能が求められる一方で、アメリカや日本のブランドが提示する高額な価格には耐えられない人々のためのものです。 私たちが作るヒーターは中国で製造されており、大手ブランドと互角の性...

ファブラトリーでは、ベイクプロファイルは単なる提案ではなく、厳格な制約条件です。もしランプの位置がずれたり、熱の集中する箇所ができたりすると、ソフトベイクやハードベイクの効果も低下してしまいます。線幅も不安定になり、焦点もぶれてしまい、その結果、生産効率も低下します。24時間365日稼働しているた...

ファブの現場では、フォトレジストを焼成する際にわずか0.5度のずれがあるだけで、大量の製品が廃棄されてしまいます。そのため、迅速な加熱が可能な短波長のIRランプが使用されますが、それもランプの出力が安定しており、ケースが汚れていない場合に限ります。 だからこそ、クォーツスリーブは単なるカバーではあ...