クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
クラス100のクリーンルームで作業を行う際、加熱というのは温度そのものではありません。重要なのは、目に見えない微細な粒子です。
このような環境では、ほとんどの加熱要素が問題を引き起こします。これらの加熱要素からは、目に見えない微小な粒子が放出されますが、それだけでも半導体チップやウェハーを破壊するには十分です。そうしたことを防ぐために、私たちは赤外線硬化ランプに高純度の合成石英を使用しています。
秘密はガラスにあります。
私たちは融融シリカを使用しています。これは非常に純度が高いため、高温になっても金属イオンを放出しません。一般的な石英ランプでは、高温になると不純物が放出されますが、私たちのランプは表面の化学的性質を安定させてくれます。つまり、ランプから何も剥がれ落ちることがなく、基板上に何も落ちることもありません。これが効果的なのです。
熱に対処する方法
ファブでは、硬化速度を上げるために高い照度が必要です。そのため、ワット数を高く設定します。しかし、問題もあります。高い熱密度はランプの密封部分に大きな負荷をかけます。もし密封部分が漏れると、ハロゲンガスが漏れ出し、フィラメントがすぐに焼き切れてしまいます。これを防ぐために、特殊な真空封入型のエンドキャップを使用しています。また、これらのランプは定常状態で動作するように設計されており、急激な温度変化によるガラスの亀裂を防ぎます。
設置方法
スペースを節約するために、ランプのサイズを小さくしています。また、低発塵性のコネクタの使用を推奨します。配線からポリマーが流出して空気の流れを妨げないようにする必要があります。
ただし、一つ注意点があります：石英に触れてはいけません。
皮膚の油脂が大敵です。もし技術者が設置時にランプに触れると、その油脂がガラスに付着してしまいます。これにより「ホットスポット」が生じ、それが原因でガラスが割れてしまいます。だから、絶えず清潔な手袋を持ち歩き、イソプロピルアルコールで拭くことが重要です。清潔にしておけば、ランプも長持ちします。