ウェーハの硬化処理を最大限に活用するために
ウェーハを硬化処理する際には、バランスを取る必要があります。溶剤を除去したり、適切な化学反応を引き起こしたりしなければなりませんが、単に温度を上げすぎると、基板が破損してしまいます。
そこで役立つのが反射板です。私たちは金メッキされた反射板を使用します。正直なところ、IRエネルギーが機械の筐体内に漏れ出して無駄になるのを防ぎたいからです。
なぜ金なのか？
多くの人はアルミニウムを使いますが、長波長のIR光には不向きです。アルミニウムでは熱が多く漏れ出てしまいます。一方、金は違います。真空蒸着法によって作られた金の層を使えば、ほぼすべての赤外線を元の場所に戻すことができます。これにより、エネルギーが集中し、1ワットあたりの効果が大幅に向上します。
形状が重要
反射板の曲率が、熱がウェーハにどのように当たるかを決定します。放物線形状の場合はビームが集中し、楕円形の場合は特定の点に熱が当たります。
もし形状が正しくないと、問題が発生します。ウェーハに「ホットスポット」ができ、それは硬化が不均一になる原因となります。さらに悪いことに、基板が変形してしまうこともあります。そのため、エネルギーが漏れ出ないように、ランプが光学軸上に正確に位置していることが重要です。精度が鍵です。
注意点
金は熱には優れていますが、柔らかいため、厳しい清掃には耐えられません。もし現場で強力な化学薬品や研磨剤を使って清掃すると、金の層が傷ついてしまいます。そうなると効率が急激に低下します。ですから、これらの部品は丁寧に扱う必要があります。保護用のクォーツシールドを使用するのが最善の方法です。
設置時のヒント
このシステムを接続する際には、高い効率を得るためには、ウェーハが以前よりも多くのエネルギーを吸収することになるという点を忘れてはいけません。そのため、出力を調整したり、コンベヤーの速度を上げたりして、過度な硬化を防ぐ必要があります。また、シールドも忘れてはいけません。他の機器がそのエネルギーを吸収してしまわないようにしなければなりません。