クリーンな環境を維持するために：クラス100のクリーンルームでの赤外線加熱の真実
もしあなたがクラス100のクリーンルームを運営しているなら、粒子の問題がどれほど深刻かご存知でしょう。ほんのわずかなほこりで、作業した製品全体が台無しになってしまいます。問題は、ほとんどの加熱要素が実際にはほこりを発生させる装置だということです。これらの加熱要素は酸化したり、剥がれ落ちたりして、その破片が空気中に飛び散ります。
私たちは、それを防ぐ方法を見つけ出しました。その秘訣は、高純度の石英と金を組み合わせることです。
なぜ金を使うのか
一般的にはアルミニウムの反射板が使われます。安価ではありますが、欠点があります。それは酸化してしまうことです。時間が経つにつれて、微細なほこり層ができてしまいます。無菌状態を保ちたい場合には、これは好ましくありません。
私たちは代わりに、真空蒸着法で作られた金の層を使用します。金は酸化しません。また、短波長の赤外線の約98％を直接被加工物に当てることができます。熱が機械の枠に伝わって部屋全体が温まるのではなく、必要な場所にだけ熱が届きます。これにより、より効率的でクリーンな加熱が可能になります。
材料の純度について
金の下には、高純度の石英管が使われています。純度は非常に重要です。不純物があると「ホットスポット」が発生し、結果的にランプが早く壊れてしまいます。
石英は、急激に温度を変えても問題ないので優れています。また、金は化学的に反射板に固定されているため、剥がれ落ちることはありません。これが、長時間の生産でも粒子の発生を完全に抑える唯一の方法です。
注意すべき点
ただし、これらのランプは非常に強力です。金の反射板の効率が高いため、ハウジングの精度が非常に重要です。もしランプが数ミリメートルでもずれてしまうと、焦点が合わなくなってしまいます。必ず、取り付けブラケットがしっかりしていることを確認してください。
私たちは主に半導体や医療機器の分野向けにこのランプを製造しています。もし従来の赤外線ランプから切り替える場合は、電源装置をよく確認してください。ワット数を下げても、同じ表面温度を得ることができるかもしれません。
また、余分な熱が発生しないため、冷却システムも助かります。