クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業を行うとき、「効率」は二の次になります。重要なのは、粒子の制御だけです。 問題は、一般的なIRランプはかなり汚れやすいということです。ランプのシール部やエンドキャップから微細な破片が放出されます。それは見えないもの...

ウェーハの汚染という悪夢を止めよう 正直に言って、高負荷の運転中にランプが故障すると、それは単なる短時間の停止では済まされない。まさに災害だ。ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎ、結果として全てのウェーハがダメになってしまう。そして、チャンバーを完全に清掃しなければならず、誰もが避けたい...

はじめに 私たちがこの壁掛け式の赤外線ガレージヒーターを開発したのには、ただ一つの理由があります。それは、冬の寒いバスルームの環境が、あなたの朝の時間を台無しにするのを防ぐためです。 これはCE認証を受けた赤外線ライトで、スイッチを入れるとすぐに暖かさを提供してくれます。待つ必要はありません。部屋...

ファブラトリーでは、ベイクプロファイルは単なる提案ではなく、厳格な制約条件です。もしランプの位置がずれたり、熱の集中する箇所ができたりすると、ソフトベイクやハードベイクの効果も低下してしまいます。線幅も不安定になり、焦点もぶれてしまい、その結果、生産効率も低下します。24時間365日稼働しているた...

ファブの現場では、フォトレジストを焼成する際にわずか0.5度のずれがあるだけで、大量の製品が廃棄されてしまいます。そのため、迅速な加熱が可能な短波長のIRランプが使用されますが、それもランプの出力が安定しており、ケースが汚れていない場合に限ります。 だからこそ、クォーツスリーブは単なるカバーではあ...

ライン上での重要性 300 mm ウェハは、ソフトベークとハードベークを通じてドリフトを許容できません。フィールド全体での 2°C のホットスポットは CD をシフトさせ、スカムを残し、全ロットを廃棄物に変えてしまいます。プロセスパラメータとして機能する温度制御が必要です。最良の推測ではありません...