クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業を行うとき、「効率」は二の次になります。重要なのは、粒子の制御だけです。
問題は、一般的なIRランプはかなり汚れやすいということです。ランプのシール部やエンドキャップから微細な破片が放出されます。それは見えないものですが、確実に存在します。これに対処するために、高純度の石英管と特殊なセラミック製のエンドキャップを組み合わせて使用しています。
材料が重要な理由
ほとんどのIR発光体は、管の端に接着剤や安価なプラスチックが使われています。高温のクリーンルームや真空環境では、これらの材料は簡単に劣化してしまいます。その結果、ウェーハに汚染が生じてしまいます。
私たちは高純度の合成石英を使用しています。この素材は熱サイクルにも耐えられ、化学的な腐食にも強いです。
しかし、本当の秘訣はセラミック製のエンドキャップにあります。金属系のバインダーを一切使わず、高アルミナ含有量のセラミックを使用しています。これにより、安価なランプで見られるような汚れが発生しなくなり、加熱時に有機物が漏れ出ることもありません。
注意すべき点
これらの発光体は非常に高密度の熱を発生させます。そのため、取り付けブラケットの精度が非常に重要です。管が数ミリでもずれると、ワークピースに熱箇所ができてしまいます。厳格な公差が求められますが、必要なことです。
また、電源に関しても注意が必要です。高純度の石英は独自の膨張特性を持っています。急に電力を供給すると、セラミックと石英の接合部分に負荷がかかります。ゆっくりと電力を供給することが大切です。そうすれば、シール部も壊れにくくなります。
実際に使うための手順
これらの発光体は、既存のコントローラーに直接接続するだけで使えます。汚染を引き起こす不要な部分を排除したおかげで、表面検査時の粒子の量が大幅に減少します。つまり、洗浄に費やす時間が減り、実際に製造に費やす時間が増えます。ただし、セラミック端子から発生する放射熱に対応できる十分な冷却ファンがあることが前提です。