ライン上での重要性
300 mm ウェハは、ソフトベークとハードベークを通じてドリフトを許容できません。フィールド全体での 2°C のホットスポットは CD をシフトさせ、スカムを残し、全ロットを廃棄物に変えてしまいます。プロセスパラメータとして機能する温度制御が必要です。最良の推測ではありません。
内部での重要な要素
ウェハ作業用に精密な IR センサーを構築し、ベーク面全体で ±0.1°C の熱均一性を保持します。セットポイントの再現性は、ランごとに ±0.05°C の範囲内に留まります。 クリーンルーム Class 1–100 で動作し、粒子を放出しない材料と仕上げを使用しています。ゼロのガス放出、ゼロの剥離、フォトレジストを汚染するものはありません。 ハロゲン、クォーツ、NIR ソースと連携し、スペクトル応答は安定しているため、ウェハ全体での吸収が一貫しています。5,000 時間以上の安定した出力を提供し、ドリフトは 5% 未満です。
リソグラフィーでの耐久性の理由
リソグラフィーでは、フォトレジストのベークが熱バジェットを設定します。このセンサーを使用すると、最初のロットでターゲットに到達し、その後も維持できます。再作業が減少します。CD 制御が厳密になり、欠陥が減少し、歩留まりが予測可能になります。 制御帯が狭いため、必要以上にベークすることがなく、エネルギー使用量が低下します。このプラットフォームは 150 mm および 300 mm ツールをサポートし、既存のオーブンやトラックに適合し、プロセスウィンドウを適切な範囲に保ちます。
実用的な詳細
インストールには、専用のシールドされた熱電対の配線と、チャンバーのジオメトリにマッピングされたキャリブレーションオフセットが必要です。調整は短時間で済み、レジストスタックのエミッシビティと滞留時間を調整します。 センサーは 24/7 動作に対応していますが、周囲の湿度が 60% RH を超える場合は、光学系を乾燥させるためのアクティブパージが必要です。 レシピを確定するために 24 時間の資格試験を実施し、その後運用を開始します。