ウェハ用精密IRセンサー

ライン上での重要性 300 mm ウェハは、ソフトベークとハードベークを通じてドリフトを許容できません。フィールド全体での 2°C のホットスポットは CD をシフトさせ、スカムを残し、全ロットを廃棄物に変えてしまいます。プロセスパラメータとして機能する温度制御が必要です。最良の推測ではありません...