ウェーハの硬化処理を最大限に活用するために ウェーハを硬化処理する際には、バランスを取る必要があります。溶剤を除去したり、適切な化学反応を引き起こしたりしなければなりませんが、単に温度を上げすぎると、基板が破損してしまいます。 そこで役立つのが反射板です。私たちは金メッキされた反射板を使用します。...

クリーンな環境を維持するために：クラス100のクリーンルームでの赤外線加熱の真実 もしあなたがクラス100のクリーンルームを運営しているなら、粒子の問題がどれほど深刻かご存知でしょう。ほんのわずかなほこりで、作業した製品全体が台無しになってしまいます。問題は、ほとんどの加熱要素が実際にはほこりを発...

ウェーハの汚染という悪夢を止めよう 正直に言って、高負荷の運転中にランプが故障すると、それは単なる短時間の停止では済まされない。まさに災害だ。ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎ、結果として全てのウェーハがダメになってしまう。そして、チャンバーを完全に清掃しなければならず、誰もが避けたい...