リンスランプ後の速乾ウエーハ

ファブ内では、洗浄の質は乾燥の質次第です。洗浄後に残る水分や水痕、ストリークといったものが、特に28ナノメートル以下のサイズのウェーハでは、生産性を急速に低下させます。通常のホットプレートを使うと、温度変動が生じ、チャックが上下に動くたびに粒子が発生します。 そこで、迅速かつ正確に乾燥させるために...