CVD 化学気相成長 ヒーター

製造現場では、チャンバー内の温度が不安定になると、すぐにウェハの厚みの不均一や歩留まりの低下といった問題が発生します。一度そうなってしまうと、後から対処することはできません。したがって、ヒーターは最初のウェハから最後のウェハまで、一貫して安定した熱条件を保つ必要があります。 技術的に重要な点 私た...