RTPシステムのヒーターのトラブルシューティング

ファブの現場では、RTPヒーターに問題があっても、それがすぐにはわからないことがあります。その問題は、ソフトベイク時の寸法のばらつきや、露光後の線幅の変動、またはエッチング速度が安定しないといった形で現れます。ウェーハには温度分布の不均一性が表れ、その結果、廃棄処分になってしまいます。これは単なる...