半導体ヒーター用熱電対

セミインフラレッド加熱における適切な温度制御 半導体製造工場の炭素排出量を実際に削減したいのであれば、古くて非効率的な抵抗加熱装置に頼るのはやめなければなりません。そうした装置は効率が悪すぎます。代替案としては、赤外線加熱があります。これは、ウェーハ自体を加熱するため、より効率的な方法です。 しか...