クリーンルーム用のランプを安全に使うために（トラブルを避けるために） クリーンルームを運営する際には、「ほぼ完璧」では不十分です。汚染が一切ないこと、そして電力が不安定にならないことが不可欠です。 このような装置用に赤外線ランプを製造する際には、単に電球が壊れるだけでは済みません。高電圧のヒーター...

赤外線ヒーターを、可燃性の洗剤があるクリーンルームで使用する場合、通常のランプはまるで時限爆弾のような存在です。石英管にわずかな火花が発生したり、微細な亀裂が生じたりすれば、機械が壊れるだけでなく、爆発につながります。 そのため、私たちは単にヒーターを作るだけではなく、それを保護シェルで覆います。...

半導体製造用のホットプレートでの「過度な加熱」を防ぐには？ 運搬用カートの表面に触れて、その高温さに驚いて飛び退いたことはありませんか？これが、従来の加熱要素が持つ問題です。従来の加熱要素は、熱をあちこちに放出してしまいます。クリーンルームでは、これは大きな問題です。そうした古式のヒーターを使うと...

なぜ、クリーンルーム内のすべての電球をテストするのか？ 半導体製造工場では、わずかな電気的な障害でも大災害につながります。たった一回の放電で、大量のウェハが廃棄されてしまうこともあります。だからこそ、私たちは「抽出検査」を行いません。数個だけテストして、運が良ければ大丈夫というわけにはいきません。...