灰化処理用加熱赤外線

リソグラフィーの工程では、アッシングチャンバーがフォトレジストを除去する際の熱条件を決定します。設定値から半度でも偏差が生じると、残留物が残ったり、最悪の場合は下層の層が損傷したりします。1枚のウェーハが不良になるだけで、全体の工程が台無しになってしまいます。赤外線加熱を利用すれば、このような熱条...