FOUP フロントオープニング・ユニファイド・ポッド 式乾燥機

リソグラフィーの現場では、よく知られている通り、洗浄後のFOUPは湿った状態で運ばれてきます。そのため、時間との勝負になります。もし加熱条件が少しでも狂ってしまうと、フォトレジストが適切に硬化せず、表面に膜ができてしまいます。そうなると、生産効率を上げるどころか、不良品が増えてしまいます。私たちは...