ウェーハキャリア洗浄乾燥機

ファブの現場では、スクラバーから出てくるウェットプロセス用のキャリアには、水分をリソグラフィーベイ内に持ち込むことができません。残留する膜や水分の影響により、歩留まりが低下するだけでなく、再加工が必要になり、次の焼成処理時の熱負荷も増加します。そのため、ドライヤーは、粒子を混入させず、キャリアに過...