省エネ型ウェーハヒーター

シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 大量生産ラインでは、ランプが破損することは、単なる煩わしい停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。 石英管が壊れると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に降り注ぎます。これにより、そのロット全体がダメになってしまいま...