シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法
大量生産ラインでは、ランプが破損することは、単なる煩わしい停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。
石英管が壊れると、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に降り注ぎます。これにより、そのロット全体がダメになってしまいます。そして、清掃作業もまた、火曜日に行いたくない最悪の作業です。
私たちは、そういう事態を防ぐために赤外線ヒーターを開発しました。それは、使用する素材や適切な防御策にかかっています。
熱応力への対処
ほとんどの場合、これらの管が壊れるのは、電極付近の「ホットスポット」や不均一な膨張が原因です。つまり、ガラスが熱に耐えられないのです。これを解決するために、高純度の合成石英を使用しています。これにより、急激な加熱・冷却サイクルにも耐えられ、割れることがありません。
また、強化された構造を採用しています。これにより、熱が管全体に均等に分布し、危険な圧力が生じるのを防ぎます。
しかし、注意点があります。もしランプを最大出力で動作させると、内部圧力が上昇します。その場合、冷却用の空気の流れを正確にコントロールする必要があります。空気の流れが悪ければ、局所的に過熱が起こり、それが破損の原因になります。
「セーフネット」
混乱を避けるために、単にランプをそのまま放置するわけにはいきません。それは問題を引き起こすだけです。
代わりに、高透過率の石英製のカバーや特殊な安全シールドを使用します。これは、ウェーハの「ボディガード」と考えてください。もし加熱要素が壊れたり、管が最終的に破損しても、このシールドがすべてを防ぎます。そうすれば、ウェーハは汚れることがありません。
面倒なメンテナンスを避ける
私たちは標準化された接続部品を使用しています。緩んだ接続は災害の元です。緩んだ接続によりアークが発生し、それが熱の急上昇を引き起こし、結果としてランプが破損します。
最後に、アドバイスです。ランプが暗くなってから交換するのを待たないでください。装置の使用頻度に応じて、定期的にランプを交換しましょう。限界に達する前にランプを交換することが、今月にチャンバーを清掃しなくて済む唯一の方法です。