ウェーハを破壊するようなランプの破損を防ごう
大量生産用のウェーハ処理装置では、ランプが破損すると、単なる面倒な問題や短時間の停止にとどまりません。それはまさに悪夢です。
石英製のケースが破裂すると、ガラスの破片や蒸発したタングステンがウェーハの上に降り注ぎます。これにより、一括してウェーハがダメになってしまいます。その後は、チャンバー全体をきれいにする作業が待っています。誰も週末をその作業に費やしたくありません。
熱対策
私たちは、半導体処理装置の厳しい条件に耐えられるように赤外線ランプを設計しています。ほとんどの場合、ランプが故障するのは熱膨張が均一でないからです。つまり、ガラスが温度変化に追いつけないのです。
この問題を解決するために、高純度の合成石英を使用しています。これは非常に丈夫で、急な温度変化にも耐えられます。
しかし、それだけではありません。私たちは「安全装置」も用意しています。発光体を耐衝撃性のあるカバーで覆ったり、特殊なコーティングを施したりしています。そうすれば、内部のフィラメントが壊れても、破片が外部に出ないのです。これにより、製品が汚染されるのを防げます。
バランスの取り方
高ワット数のランプは、ウェーハを迅速に処理するのに必要な熱密度を提供しますが、代償も伴います。
小さな空間に多くの電力を投入すると、ハロゲンガスの内部圧力が上昇します。冷却システムが不足している場合、ケースが過熱して柔らかくなります。そうすると、チューブが曲がり、最終的には破裂してしまいます。
ですから、ワット数と装置の空気流を適切にバランスさせる必要があります。空気の流れが不十分だと、ランプは早く故障してしまいます。それだけです。
正常な動作を維持するために
細かい点も重要です。私たちは標準化されたコネクタを使用しています。緩みがあると、事故の原因になります。緩んだ接続部では、熱が集中し、ランプが故障しやすくなります。
良い心構えとしては、500時間ごとに接続部の状態をチェックすることです。1分かかりますが、そのおかげで後での清掃作業を数時間節約できます。
最後に、配線にも注意しましょう。支持部が石英に機械的な負荷をかけないようにしましょう。負荷がかかると、チューブが割れてしまいます。
正しい位置に設置し、冷却を安定させれば、ランプは本来の寿命を全うできます。そうすれば、ウェーハも喜んでくれるでしょう。