ウェーハを破壊するようなランプの破損を防ごう 大量生産用のウェーハ処理装置では、ランプが破損すると、単なる面倒な問題や短時間の停止にとどまりません。それはまさに悪夢です。 石英製のケースが破裂すると、ガラスの破片や蒸発したタングステンがウェーハの上に降り注ぎます。これにより、一括してウェーハがダメ...

MEMSウェーハの適切な乾燥方法 MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させるのは、かなり難しい作業です。熱制御を適切に行わなければ、粘着や表面張力の影響でセンサーが損傷してしまいます。これを解決するために、赤外線ヒーターを使用して余分な液体を素早く蒸発させます。重要なのは、繊細な膜を壊さずに水分を除去...

水素センサーの製造において、IRシステムを正しく活用することが重要です。水素センサーを作るには、適切な温度管理が不可欠です。そうでなければ、膜が壊れたり、触媒がうまく機能しなくなったりします。 もし依然として旧式の対流型オーブンを使っている場合、それは単なる推測に過ぎません。現代のスマートファブで...

赤外線と熱風：センサーパッケージングにおいて、実際に優れているのはどちらか？ もし依然として半導体の深層加工に熱風を使っているのであれば、毎日「時間的なコスト」を支払っていることになります。 対流式オーブンの仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気が部品を加熱します。これは中間媒体を...

ライン上での重要性 300 mm ウェハは、ソフトベークとハードベークを通じてドリフトを許容できません。フィールド全体での 2°C のホットスポットは CD をシフトさせ、スカムを残し、全ロットを廃棄物に変えてしまいます。プロセスパラメータとして機能する温度制御が必要です。最良の推測ではありません...