半導体製造用のホットプレートでの「過度な加熱」を防ぐには？
運搬用カートの表面に触れて、その高温さに驚いて飛び退いたことはありませんか？これが、従来の加熱要素が持つ問題です。従来の加熱要素は、熱をあちこちに放出してしまいます。クリーンルームでは、これは大きな問題です。そうした古式のヒーターを使うと、熱が機械のケース内に漏れ込んでしまいます。
オペレーターが火傷する危険もありますが、それだけではありません。実際の問題は、こうして蓄積された熱が、機械の繊細な部品を損傷させてしまうことです。
解決策は？空気を加熱しないことです。
私たちは短波赤外線ランプを使用しています。これはまるで懐中電灯のようなものですが、熱を発生させる点が違います。従来のヒーターが周囲全体を温めるのに対し、赤外線ランプは電磁波を直接ワークピースに当てます。そして、反射板を使ってそのエネルギーを集中させます。
その結果、熱は正確にウェハや基板に届き、機械の壁の外に留まります。
工場での正しい使用法
通常は高密度の石英ハロゲン管を使用します。これらは非常に速く、数秒で目標温度に到達します。コイルが温まるのを数分待つ必要はありません。
しかし、注意点もあります。ランプとワークピースの距離が重要です。取り付けブラケットが数ミリでもずれると、焦点がずれて効率が低下します。
注意すべき点
ケースを冷やすことは良いことですが、この種の方向性の強い熱は非常に強力です。高温部分に注意する必要があります。ワークピースを回転させない場合や、ランプの配置が少しでもずれていると、均一に加熱されないことになります。
また、配線を行う人へのアドバイスとして、電源をしっかりチェックしてください。石英管は繊細なので、過剰な電圧をかけると、本来よりも早く壊れてしまいます。
さらに、換気も忘れてはいけません。熱は集中していても、多少の余熱が残ります。コントロール用の電子機器が壊れないように、適切な風量が必要です。