ウェーハ加熱時の安全距離

なぜ赤外線がホットエアよりも優れているのか もし依然としてホットエアを使っているのであれば、実質的には半日以上を待つ時間に費やしていることになります。 これは「より優れた装置」を持っているかどうかの問題ではありません。重要なのは時間です。高度な処理においては、空気を利用して熱を伝える方法は最悪の手...