真空チャンバー内のヒーターが短絡しないようにする方法
真空中で赤外線ヒーターを使用する際には、ミスが許されません。わずかな電気アークや漏れがあれば、真空状態が崩れたり、敏感な基板が破壊されたりします。これは最悪の事態です。 私たちは、大量の熱に耐えられるようにこのヒーターを製造していますが、実際の問題はシール部分や石英製のケースにあります。ここが通常問題が発生する箇所です。
なぜすべてのヒーターをテストするのか
一部の業者は「サンプルテスト」を行い、10個中1個だけを検査して済ませようとします。しかし、私たちはそうしません。私たちは、出荷されるすべてのヒーターに対して耐圧試験や絶縁抵抗試験を行います。 実際、真空中では物理法則が変わります。気体の挙動も異なり、シール部分の微細な亀裂や石英製ケースの小さな穴が、突然アークが流れる通路になってしまいます。 そのため、私たちは高電圧をかけてテストを行い、絶縁性能が本当に保たれているかを確認します。もしヒーターが故障した場合は、それは廃棄処分されます。重要な工程の最中にヒーターが故障してしまうよりは、今すぐ廃棄した方が良いのです。
熱に対処する方法
高出力のヒーターは、小さな空間に多くの熱を放出します。このような熱によって材料が膨張したり収縮したりし、タングステンフィラメントと石英が接する部分に大きな負荷がかかります。 これに対処するため、私たちは石英と同じ速度で動き、伸縮する特殊なシールガラスを使用しています。しかし、適切な材料を使っても、熱サイクルは装置に大きな負担を与えます。常にテストを行うことで、高温状態でもシールが完全に密閉され、電気的に絶縁されているかを確認できます。
設置に関する注意点
私たちの品質管理によってヒーターを安全に保つことはできますが、お客様側の設置環境が整っていないと、問題が発生する可能性があります。 もし真空チャンバーが適切に接地されていない場合、誘導電流が発生し、ヒーターの性能に影響を与えます。これは厄介な問題です。必ず、配線がヒーターの電圧に合っているかを確認してください。そうしないと、ヒーターが早期に故障してしまいます。