半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

半導体製造用のホットプレートでの「過度な加熱」を防ぐには？ 運搬用カートの表面に触れて、その高温さに驚いて飛び退いたことはありませんか？これが、従来の加熱要素が持つ問題です。従来の加熱要素は、熱をあちこちに放出してしまいます。クリーンルームでは、これは大きな問題です。そうした古式のヒーターを使うと...