ウェーハの汚染という悪夢を止めよう
正直に言って、高負荷の運転中にランプが故障すると、それは単なる短時間の停止では済まされない。まさに災害だ。ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎ、結果として全てのウェーハがダメになってしまう。そして、チャンバーを完全に清掃しなければならず、誰もが避けたい状況だ。
だからこそ、私たちはこのIRシステムをこのように設計したのだ。
秘密はアルミニウムにある
私たちは高純度のアルミニウム製の反射板を使用しているが、それは単に熱を反射するためだけのものではない。反射板を盾のように考えるのだ。精密に加工されたアルミニウム製のケースの中にランプを収めることで、実質的に封じ込めゾーンを作り出しているのだ。
もしランプが壊れたり、劣化したりした場合、反射板がほとんどの破片をキャッチしてくれる。そうすれば、有害な粒子がウェーハの表面に到達するのを防げるのだ。シンプルだが、効果的だ。
熱の管理
高出力のランプは、周囲の部品に大きな負担をかける。早期に故障しないように、ランプが金属壁に触れないように十分な隙間を設けている。もし接触してしまうと、ホットスポットが発生し、ランプが壊れてしまう。
また、アルミニウムを鏡のように磨き上げている。これにより、IR光の反射効率が大幅に向上し、目標の温度に到達するために高い出力を必要としなくなる。出力が少なければ、クォーツケースにかかる圧力も少なくなり、システムが安定する。
現実的な課題
しかし、どんなシステムも完璧ではない。アルミニウム製のシールドは破片を防ぐが、ランプの端辺部分に熱が溜まってしまうことがある。この点には注意が必要だ。冷却ファンの能力が、使用しているランプの出力に見合っているかを確認しなければならない。そうでなければ、ソケットが溶けてしまう可能性がある。空気の流れが悪ければ、反射板がどれだけ優秀でも、熱が溜まってランプの寿命が短くなってしまう。
私たちが設計したこのユニットは、既存の加熱装置にそのまま取り付けられるようになっている。これにより、スペースを節約でき、床の安全も保たれ、負担も大幅に減る。