ファブ内の二酸化炭素排出量を削減する：なぜ金コーティングされた加熱装置が効果的か
半導体製造において、正確な温度を維持するのはかなり難しい。多くの人々は従来の抵抗式オーブンを使っていますが、これらはエネルギーの消費が激しい。目的を達成するために大量の熱が無駄に消費されてしまいます。
私たちはより良い方法を見つけました。それが、金コーティングされた短波赤外線ランプです。
金の役割とは？
通常の石英ランプは、エネルギーをあちこちに放出してしまいます。しかし、石英に薄い金の層を加えることで、選択的にエネルギーを放出することができます。まるで熱の鏡のように、長波長の放射光をフィラメントに戻し、短波長のエネルギーを直接シリコンウェーハに送り込むのです。これこそが望ましい形態です。
ウェーハ表面に直接強力な熱が与えられます。全体のチャンバーを温めるために無駄なエネルギーを消費する必要がありません。つまり、より効率的なのです。
ただし、注意点もあります。
これらのランプは非常に強力です。より速く温度を上げるために使用すると、フィラメントの温度が急上昇します。それ自体は問題ありませんが、電源に大きな負担がかかります。
高ワット数のランプを使用する場合は、電気配線をしっかりチェックする必要があります。初期の過剰な電流に対応できないと、朝からブレーカーが飛ぶ状態になってしまいます。
「グリーンファクトリー」としての利点
ファブの脱炭素化について語るとき、重要なのは「1枚のウェーハあたりのエネルギー消費量」です。対流式や一般的な赤外線ランプから、この金コーティングされたシステムに切り替えることで、温度上昇時間が大幅に短縮されます。その結果、バッチあたりのエネルギー消費量が減少します。
これは単に電球を交換するだけではありません。システムが対処しなければならない熱量全体が減少するのです。また、空調システムも部屋を冷却するためにそれほど努力する必要がありません。
これは、歩留まりを悪化させる心配なしに、効率的かつクリーンに熱処理を行う方法です。