半導体用接着剤の赤外線硬化

24時間365日稼働するファブフロアでは、接着剤の硬化を逐一監視する時間はない。温度異常が一回でも起これば、不均一なベークが発生し、フォトレジストのプロファイル損失、エッジビードのトラブル、あるいはパッケージングまで持ち込まれるボンドラインの空洞といった問題に直面する。熱予算が厳しく、稼働率が絶対...