클래스 100 청정실을 계속해서 깨끗하게 유지하는 방법
진공 챔버나 클래스 100 청정실에서 부품을 가열할 때, 아주 작은 먼지 한 알이나 화학물질만 있어도 전체 웨이퍼나 광학 코팅된 부품들이 망가질 수 있습니다.
일반적인 가열 요소들은 이러한 환경에 적합하지 않습니다. 그런 요소들은 접착제를 배출하거나 산화되는데, 이는 마치 수술실에 반짝이는 입자들을 넣는 것과 같습니다. 우리는 고순도의 합성 석영 인프라레드 램프를 사용하여 이 문제를 해결합니다.
가스 방출 문제 해결
재료에 관해서 말하자면, 우리는 금속 불순물이 제거된 융합된 석영을 사용합니다. 왜냐하면 램프가 작동 온도에 도달했을 때 휘발성 유기 화합물이 배출되는 것을 원하지 않기 때문입니다. 일반 유리는 그런 압력에 견디지 못하고 부서질 수 있습니다. 하지만 우리의 석영은 아무리 높은 온도에도 단단하고 투명한 상태를 유지합니다. 또한, 저품질의 접착제는 사용하지 않습니다. 모든 연결 부분은 융합되거나 기계적으로 고정됩니다. 접착제도 없고, 가스도 배출되지 않으며, 부품도 손상되지 않습니다.
진공 환경에서의 문제 해결
진공 환경에서는 열을 식힐 공기가 없기 때문에 문제가 발생할 수 있습니다. 대류식 냉각이 없으면 램프의 외부가 과열되어 파손될 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 우리는 고밀도 단파 복사를 내보내는 램프를 사용합니다. 그렇게 함으로써 에너지가 목표물에 집중되고, 챔버 벽이 과열되는 것을 방지할 수 있습니다.
한 가지 팁: 장착 브래킷은 팽창률이 낮은 합금으로 만들어져야 합니다. 열 변화로 인해 팽창이 너무 심하면 램프가 파손될 수 있습니다. 이런 세부 사항들이 문제를 예방하는 데 큰 도움이 됩니다.
설치 및 사용 방법
우리는 사용자의 편의를 위해 진공 환경에 적합한 연결 부품과 함께 램프를 보냅니다. 설치할 때는 엔드 캡의 토크에 주의해야 합니다. 충분한 진공 밀폐가 필요하지만, 너무 세게 조이면 석영이 손상될 수 있습니다.
높은 와트수를 사용할 경우, 냉각 장치가 램프의 열을 효과적으로 제거할 수 있는지 확인해야 합니다.
이 램프들은 기존의 고순도 장비를 대체할 수 있도록 설계되었습니다. 마지막으로, 처음 전원을 켤 때는 진공 펌프의 성능을 잘 확인해야 합니다. 초기 가열 과정에서는 많은 에너지가 필요하기 때문에, 시스템이 그 부담을 감당할 수 있는지 확인해야 합니다.