에너지 효율적인 웨이퍼 히터
파편의 위험을 막아라: 램프가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 대량 생산 라인에서 램프가 고장나는 것은 단순히 생산이 중단되는 문제가 아닙니다. 그것은 진정한 재앙입니다.
쿼츠관이 파손되면, 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어집니다. 이는 즉시...
웨이퍼 가열을 위한 안전 거리
왜 웨이퍼 가공에는 적외선이 열공기보다 더 효과적인가?
만약 여전히 열공기를 이용해 가공을 진행한다면, 하루 중 절반의 시간을 기다리는 데만 소비하게 됩니다.
이건 단순히 “더 좋은 장비”를 사용하는 문제가 아닙니다. 핵심은 시간입니다. 심도 있는 가공 과정에서는 공...
웨이퍼 공정용 온도 센서
와이퍼를 망가뜨리는 램프 고장을 막으세요
대량 생산용 웨이퍼 처리 장비에서 램프가 고장나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 진짜 악몽과 같습니다.
쿼츠 소재의 램프가 파손되면, 유리 조각들과 증발된 텅스텐 입자들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 이는 즉시 웨이퍼를 망...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
MEMS 웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법
MEMS 센서 웨이퍼를 건조하는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 열 제어를 제대로 하지 못하면, 센서가 손상될 수 있습니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 적외선 가열 요소를 사용하여 남아 있는 액체를 빠르게 증발시킵니다....
웨이퍼 경화 램프용 반사판
와이어의 건조 과정에서 최대의 효과를 얻으려면, 약간의 균형 감각이 필요합니다. 용매를 제거하거나 적절한 화학 반응을 유발해야 하지만, 너무 높은 온도를 가하면 기판이 손상될 수 있습니다. 이때 반사체가 중요한 역할을 합니다. 저희는 금으로 코팅된 반사체를 사용하는데...
와이퍼 산화 가열 요소
제조 현장에서는 산화 과정 중에 발생하는 온도 변동이 단순히 수치로만 나타나는 것이 아니라, 생산 효율에 직접적인 영향을 미칩니다. 웨이퍼 위의 특정 부분에서 2°C 정도의 온도 상승이 발생하면 임계 전압이 변해버려, 몇 주에 걸쳐 신중하게 조절한 설정값들이 모두 무...
웨이퍼용 정밀 IR 센서
라인에서 300 mm 웨이퍼는 소프트 베이크와 하드 베이크를 통해 드리프트를 허용할 수 없습니다. 필드 전체에서 2°C의 핫스팟은 CD를 이동시키고, 잔여물을 남기며, 전체 배치를 스크랩으로 만들 수 있습니다. 실제 공정 매개변수처럼 작용하는 온도 제어가 필요합니다....