웨이퍼용 정밀 IR 센서
라인에서 300 mm 웨이퍼는 소프트 베이크와 하드 베이크를 통해 드리프트를 허용할 수 없습니다. 필드 전체에서 2°C의 핫스팟은 CD를 이동시키고, 잔여물을 남기며, 전체 배치를 스크랩으로 만들 수 있습니다. 실제 공정 매개변수처럼 작용하는 온도 제어가 필요합니다....
고정밀 온도 히터
On the fab floor, thermal excursions don’t show up with a warning—they show up as yield bleeding away. A 0.5°C drift during photoresist bake is...