클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 청정실에서 작업할 때, 난방의 목적은 온도를 높이는 것이 아닙니다. 중요한 것은 보이지 않는 미세한 물질들입니다. 대부분의 가열 요소들은 이러한 환경에서 문제를 일으킵니다. 이러한 가열 요소들은 가스를...

24시간 365일 가동되는 팹 플로어에서는 접착제 경화를 일일이 감독할 시간이 없다. 온도 편차 한 번, 비균일한 베이크 한 번이면 포토레지스트 프로파일 소실, 에지 비드 문제, 또는 포장 단계까지 이어지는 본드 라인 기포 문제가 발생한다. 열 예산이 제한적이고 가동...