MEMS 웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조하는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 열 제어를 제대로 하지 못하면, 센서가 손상될 수 있습니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 적외선 가열 요소를 사용하여 남아 있는 액체를 빠르게 증발시킵니다....

서론 이미지를 떠올려 보세요. 모든 것이 데이터와 정밀함에 의해 작동하는 스마트 팩토리를 준비하고 있는 모습입니다. 여기서는 결코 용납될 수 없는 것이 바로 성능이 불안정하거나 반응 속도가 느린 가열원입니다. 그래서 우리는 고출력 할로겐 원소를 기반으로 한 적외선 건...

생산 현장에서는, 세척 과정의 효과는 건조 과정의 효과에 달려 있습니다. 세척 후 남은 물자나 스크래치, 수분은 생산 효율을 급격히 저하시킵니다. 특히 28nm 이하의 초미세 공정에서는 그 영향이 더욱 심각합니다. 일반적인 가열 장치를 사용하면 열 전달이 느려지고,...