MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조하는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 열 제어를 제대로 하지 못하면, 센서가 손상될 수 있습니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 적외선 가열 요소를 사용하여 남아 있는 액체를 빠르게 증발시킵니다....