RTP 시스템 히터의 문제 해결

제조 공정에서 RTP 히터의 문제는 명백하게 드러나지 않습니다. 대신, 소프트 베이크 과정에서의 온도 변동이나 노출 후 선의 굵기 변화, 혹은 에칭 속도가 일정하지 않은 현상으로 나타납니다. 웨이퍼에는 온도 불균일성의 흔적이 남으며, 그 결과 웨이퍼는 폐기되게 됩니다...