웨이퍼 공정용 온도 센서

와이퍼를 망가뜨리는 램프 고장을 막으세요 대량 생산용 웨이퍼 처리 장비에서 램프가 고장나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 진짜 악몽과 같습니다. 쿼츠 소재의 램프가 파손되면, 유리 조각들과 증발된 텅스텐 입자들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 이는 즉시 웨이퍼를 망...