린스 램프를 사용한 후에도 빠르게 건조되는 웨이퍼

생산 현장에서는, 세척 과정의 효과는 건조 과정의 효과에 달려 있습니다. 세척 후 남은 물자나 스크래치, 수분은 생산 효율을 급격히 저하시킵니다. 특히 28nm 이하의 초미세 공정에서는 그 영향이 더욱 심각합니다. 일반적인 가열 장치를 사용하면 열 전달이 느려지고,...