조광 가능한 반도체 히터 램프

현장에서는 열변동이 논쟁거리가 아니라 0.1도 단위로 측정되는 문제다. 소프트 베이크 온도를 조금만 올려도 포토레지스트 치수 제어가 틀어진다. 건조를 놓치면 다이싱 후에야 드러나는 미세 결함을 심는 것이다. 공정 장비의 히터 램프는 단순 부품이 아니라 공정 윈도우의...