와이퍼 산화 가열 요소

제조 현장에서는 산화 과정 중에 발생하는 온도 변동이 단순히 수치로만 나타나는 것이 아니라, 생산 효율에 직접적인 영향을 미칩니다. 웨이퍼 위의 특정 부분에서 2°C 정도의 온도 상승이 발생하면 임계 전압이 변해버려, 몇 주에 걸쳐 신중하게 조절한 설정값들이 모두 무...