소각 공정용 가열 적외선

리소그래피 공정에서는 아싱 챔버가 포토레지스트를 제거하는 데 필요한 열조건을 결정합니다. 설정된 온도에서 0.5도만 벗어나도 잔여물이 남거나, 더 심한 경우 아래층에 손상이 생길 수 있습니다. 단 한 개의 웨이퍼만 문제가 되어도 전체 공정이 망가질 수 있습니다. 적외...