와이퍼를 망가뜨리는 램프 고장을 막으세요 대량 생산용 웨이퍼 처리 장비에서 램프가 고장나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 진짜 악몽과 같습니다. 쿼츠 소재의 램프가 파손되면, 유리 조각들과 증발된 텅스텐 입자들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 이는 즉시 웨이퍼를 망...

MEMS 웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조하는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 열 제어를 제대로 하지 못하면, 센서가 손상될 수 있습니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 적외선 가열 요소를 사용하여 남아 있는 액체를 빠르게 증발시킵니다....

수소 센서 생산 공정에서 적절한 IR 시스템을 활용하는 방법 수소 센서를 제작하는 것은 꽤 복잡한 작업입니다. 열 처리 과정을 정확하게 조절해야 하며, 그렇지 않으면 멤브레인이 손상되거나 촉매제가 제대로 작동하지 않습니다. 만약 여전히 구식 대류식 오븐을 사용한다면,...

적외선과 열풍: 센서 포장에 있어서 과연 어떤 것이 더 효과적일까? 만약 여전히 반도체의 정밀 가공을 위해 열풍을 사용한다면, 매일 “시간 낭비”를 하고 있는 셈입니다. 대류 오븐이 어떻게 작동하는지 생각해보세요. 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 부품을 가열합니...

라인에서 300 mm 웨이퍼는 소프트 베이크와 하드 베이크를 통해 드리프트를 허용할 수 없습니다. 필드 전체에서 2°C의 핫스팟은 CD를 이동시키고, 잔여물을 남기며, 전체 배치를 스크랩으로 만들 수 있습니다. 실제 공정 매개변수처럼 작용하는 온도 제어가 필요합니다....