클래스 100 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 환경에서 작업할 때는 “효율성”보다는 입자 제어가 가장 중요합니다. 문제는 대부분의 일반적인 IR 램프들이 상당히 더러울 수 있다는 것입니다. 이러한 램프들은 밀폐 구조나 끝부분에서 작은 파편들을 방출...

웨이퍼 오염이라는 악몽을 막아보자 솔직히 말해서, 고부하 작동 중에 램프가 고장나면 그건 단순한 가동 중단이 아니라 큰 재앙입니다. 유리 조각들과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어지기 때문에, 전체 제품이 망가지고 침실을 완전히 청소해야 합니다. 이는 누구도 원하지 않...

서론 우리가 이 벽걸이형 적외선 가열기를 만든 데에는 단 하나의 목적만이 있습니다. 바로 겨울철 욕실의 차가운 공기로 인해 아침 시간을 망치는 것을 막기 위해서입니다. 이 제품은 CE 인증을 받은 적외선 램프로, 스위치를 켜는 순간 바로 열을 공급해줍니다. 기다릴 필...

생산 현장에서는, 베이킹 프로파일은 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 준수해야 하는 엄격한 제약 조건입니다. 만약 램프의 위치가 약간만 틀어져도, 과열된 부분이 생기고, 그로 인해 소프트 베이킹이나 하드 베이킹 과정에 문제가 생깁니다. 선의 굵기도 일정하지 않아지고,...

제조 현장에서는, 포토레지스트를 가열할 때 단 0.5도만의 오차가 있어도 전체 제품이 폐기되는 결과를 초래할 수 있습니다. 빠른 반응 속도를 위해 단파 적외선을 사용하지만, 이는 램프의 출력이 일정하고 표면이 깨끗할 경우에만 가능합니다. 그래서 석영 슬리브는 단순한...

라인에서 300 mm 웨이퍼는 소프트 베이크와 하드 베이크를 통해 드리프트를 허용할 수 없습니다. 필드 전체에서 2°C의 핫스팟은 CD를 이동시키고, 잔여물을 남기며, 전체 배치를 스크랩으로 만들 수 있습니다. 실제 공정 매개변수처럼 작용하는 온도 제어가 필요합니다....