클래스 100 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 환경에서 작업할 때는 “효율성”보다는 입자 제어가 가장 중요합니다.
문제는 대부분의 일반적인 IR 램프들이 상당히 더러울 수 있다는 것입니다. 이러한 램프들은 밀폐 구조나 끝부분에서 작은 파편들을 방출합니다. 이는 보이지 않지만 실제로 존재합니다. 우리는 고순도 석영관과 특수한 세라믹 끝부분을 함께 사용하여 이 문제를 해결합니다.
재료의 중요성
대부분의 IR 발광체는 관의 끝부분에 접착제나 저가형 플라스틱을 사용합니다. 고온의 클린룸이나 진공 상태에서는 이러한 재료들이 파괴됩니다. 그 결과 웨이퍼에 오염이 생기게 됩니다.
우리는 고순도 합성 석영을 사용합니다. 이 물질은 열 충격에도 견디며 화학적 침식에도 강합니다.
하지만 진짜 비결은 세라믹 끝부분에 있습니다. 우리는 금속 결합제가 전혀 들어가지 않은 고알루미나 세라믹을 사용합니다. 이를 통해 저가형 램프에서 나타나는 먼지 문제를 방지할 수 있으며, 열을 가할 때 유기물이 누출되는 것도 막을 수 있습니다.
주의해야 할 사항
이러한 발광체는 매우 강력한 열을 방출하기 때문에, 설치 위치가 매우 정확해야 합니다. 관이 몇 밀리미터만 움직여도 웨이퍼에 열점이 생깁니다. 엄격한 허용 오차가 필요하지만, 이는 반드시 지켜져야 합니다.
또한 전원 공급 장치에 대해서도 주의해야 합니다. 고순도 석영은 자체적으로 팽창합니다. 너무 빨리 전원을 켜면 세라믹과 석영 사이의 결합이 손상될 수 있습니다. 서서히 전원을 켜주는 것이 좋습니다. 그렇게 하면 밀폐 구조가 더 잘 유지됩니다.
사용 방법
이 발광체들은 기존의 컨트롤러에 그대로 연결하여 사용할 수 있습니다. 오염을 일으키는 요소들을 제거했기 때문에, 표면 검사 시 입자가 훨씬 적게 발생합니다. 그래서 청소하는 데 걸리는 시간도 줄어들고, 실제 작업에 더 많은 시간을 할애할 수 있습니다. 단, 세라믹 단자 주변의 열을 처리할 수 있을 만큼 강력한 냉각팬이 필요합니다.