Cara yang Betul untuk Mengeringkan Wafer MEMS
Mengeringkan wafer sensor MEMS merupakan proses yang memerlukan ketepatan yang tinggi. Jika kawalan suhu tidak dilakukan dengan betul, ia akan menyebabkan masalah seperti tegangan permukaan yang berlebihan, yang seterusnya merosakkan sensor tersebut. Untuk mengatasi masalah ini, kita menggunakan unsur pemanasan inframerah untuk memastikan cecair yang tinggal hilang sepenuhnya. Tujuannya adalah untuk menghilangkan kelembapan tanpa merosakkan membran halus tersebut.
Cabaran Berkaitan Tenaga Panas
Untuk mencapai hasil yang baik, diperlukan tenaga panas yang mencukupi. Masalahnya ialah, jika kuasa yang digunakan terlalu rendah, proses pengeringan akan berlangsung lama, dan akibatnya akan timbul bintik-bintik air pada wafer. Namun, jika kuasa yang digunakan terlalu tinggi pula, wafer akan rosak. Ia merupakan proses yang memerlukan keseimbangan yang tepat. Kita perlu menyesuaikan voltan dan kuasa agar haba dapat disalurkan secara merata ke permukaan wafer. Ingatlah, jika anda menggunakan tiub berkuasa tinggi, sistem penyejukan perlu cukup efektif, agar haba berlebihan tidak merosakkan komponen lain.
Bahan yang Tahan Lama
Kita menggunakan selubung kuarsa berkualiti tinggi kerana ia mampu menahan perubahan suhu yang drastik tanpa retak. Dalam proses penghasilan MEMS, kita sering menambah lapisan pelindung pada tiub tersebut. Ini membantu mengarahkan tenaga panas ke permukaan wafer, bukannya hanya memanaskan badan mesin itu sendiri.
Tips Penting
Perhatikan sambungan antara komponen tersebut. Biasanya inilah tempat berlakunya masalah. Kita menggunakan terminal berkualiti industri kerana sambungan yang longgar boleh menyebabkan kerosakan pada lampu dalam masa beberapa minggu sahaja. Selain itu, pastikan saiz komponen tersebut kecil supaya lebih banyak lampu dapat dimasukkan ke dalam bilik pengeringan yang sama.
Kompromi yang Perlu Diterima
Anda tidak boleh sekadar menyalakan suis dan berharap semuanya berjalan lancar. Kita perlu mengawal suhu secara perlahan-lahan menggunakan sistem PLC. Jika suhu dinaikkan secara tiba-tiba, ia akan menyebabkan masalah akibat perubahan suhu yang mendadak. Namun, kuasa yang lebih tinggi bermakna lampu tersebut tidak akan bertahan lama. Anda sebenarnya sedang menukar jangka hayat lampu dengan kelajuan pengeringan. Oleh itu, saya cadangkan agar lampu diganti mengikut jadual yang ditetapkan. Lebih murah untuk mengganti lampu mengikut jadual daripada membiarkan lampu rosak dan menyebabkan keseluruhan sensor menjadi tidak berguna. Selain itu, pastikan insulasi komponen tersebut sentiasa diperiksa, agar arus elektrik yang bertekanan tinggi tidak merosakkan wafer tersebut.