Op de lithografieafdeling is het proces bekend: de FOUP’s komen na het reinigen nat aan, en de tijd dringt. Als de verhitting niet precies op het juiste niveau is, zal de fotoresist niet goed drogen. Hierdoor ontstaan er defecten in plaats van producten die voldoen aan de specificaties. We hebben de FOUP-droger ontworpen om dit probleem te voorkomen, voordat het zelfs maar kan beginnen.
Wat belangrijk is onder het motorkapje We houden de thermische uniformiteit op het niveau van ±0,1°C, zodat elke chip dezelfde warmtetoevoer krijgt. Korte golflengten IR-straling zorgen voor een snelle en directe verwarming, met een lage thermische inertie. Dit zorgt er ook voor dat de verhitzingsproces nauwkeurig wordt gecontroleerd. De kamer is geschikt voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1–100. De materialen en afsluitingen zijn zodanig gekozen dat er geen vuildeeltjes worden gegenereerd. De nauwkeurigheden worden bereikt door gecalibreerde sensoren en een algoritme dat rekening houdt met verschillen in massa en omgevingscondities. De apparatuur kan 24/7 draaien, en er zijn geen onverwachte stilstanden gemeld tijdens langdurig gebruik.
Waarom het in de praktijk werkt Je wilt dat de oplosmiddelen uit de fotoresist verdwijnen – alleen de oplosmiddelen. Met zo’n precieze temperatuurregeling wordt het verhitzingsproces voorspelbaar. Hierdoor wordt de controle over de cruciale dimensies verbeterd, verminderen de problemen met de fotoresist en worden er minder defecten gevonden. De snelle verhitting zorgt voor kortere cyclustijden, zonder dat de kwaliteit van het product verslechtert. Het lage energieverbruik zorgt er ook voor dat er minder energie wordt gebruikt wanneer de apparatuur niet in gebruik is. Het resultaat is stabiele lithografieprestaties, minder herwerkingswerkzaamheden en producten die voldoen aan de specificaties.
Praktische details De installatievereisten zijn strikt. Zorg ervoor dat de droger een schone stroomvoorziening heeft en goed geaard is, zodat er geen elektromagnetisch ruis optreedt in de sensoren. Er moet ook een aparte afvoerweg zijn, zodat de kamer voldoet aan de vereisten. De droger past in standaard FOUP-maten, maar controleer eerst of de alignering tussen de apparatuur en de FOUP correct is. Voer eerst een calibratietest uit om de relatie tussen temperatuur en positie vast te stellen.