Reinigingsdroger voor waferdragers
Op de productielijn kan een drager die met een natte behandeling is gereinigd, de vochtigheid niet meenemen naar de lithografiecel. Overblijvende...
FOUP (Front Opening Unified Pod) droger
Op de lithografieafdeling is het proces bekend: de FOUP’s komen na het reinigen nat aan, en de tijd dringt. Als de verhitting niet precies op het...